徐孟南 1,2卢增雄 1,2,***齐月静 1,2,**李璟 1,2,*马敬 1
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所,北京 100029
2 中国科学院大学,北京 100094
相位光栅位置测量系统是实现超精密制造的核心,自参考干涉信号对比度是影响相位光栅位置测量精度的重要因素之一,而光束偏振特性直接决定了自参考干涉信号的对比度。采用琼斯矩阵和矢量形式反射定律,对自参考干涉仪棱镜中的传输光束进行了偏振追迹,构建了相位光栅位置测量系统的琼斯矩阵模型,并用物理光场数值分析软件VirtualLab验证了该模型的准确性。基于该模型分析了偏振分光面消光比、入射光偏振态及棱镜光程差对自参考干涉信号对比度的影响,结果表明,在波长为λ的照明光束下,为保证干涉信号对比度优于0.98,偏振分束镜的消光比需大于122,入射光椭偏角ψ和椭圆度tan ε分别在(0.693 rad,0.878 rad)和(-0.093,0.093)范围内,棱镜光程差需控制在(-0.03λ,0.03λ)范围内。综合考虑后,要求入射光椭圆度的取值范围为0.531δ±0.087(δ为自参考干涉仪棱镜的相位差)。该分析结果可为相位光栅位置测量系统中光束偏振特性的调控补偿提供理论依据,对提高自参考干涉信号对比度及相位光栅位置测量系统的精度具有重要意义。
物理光学 偏振 自参考干涉仪 琼斯矩阵 干涉信号对比度 
激光与光电子学进展
2021, 58(23): 2326002
作者单位
摘要
1 西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710021
2 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室, 陕西 西安 710072
为了精确提取相关干涉信号的峰值位置,为光楔式光纤法布里-珀罗传感器的相关干涉解调机制提供理论借鉴,数值模拟了3种典型的光源光谱分布的相关干涉信号,并对所获得的相关干涉信号进行了详细的对比分析,综合讨论了不同光源光谱分布条件下,光谱带宽对相关干涉信号宽度、幅值以及对比度的影响。分析结果表明,当光源在光谱上具有高斯分布且带宽较大时,得到的相关干涉信号噪声较小、条纹更稀疏、信号对比度更高,更便于准确寻峰和实现高精度的解调。
光纤光学 光纤法布里-珀罗传感器 相关干涉信号 峰值位置 光谱分布 信号对比度 
激光与光电子学进展
2018, 55(11): 110603

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