为了保证望远镜装配完成后的成像质量和其他关键指标，提出基于像差校正的望远镜装调方法。首先利用Zemax建立光学系统模型，模拟光学零件失调状态，分析各零件的每种失调状态对各类像差的影响情况，进而定量计算光学零件对系统像差的敏感矩阵，得出系统失调特性，拟定最佳装调方案。在此理论分析的指导下，进行基于星点检验法的装调实验，装调后仪器各项指标达到要求，分辨率优于技术指标要求7.5″，验证了基于像差校正的光学系统装调方案的可行性。

为实现光学系统计算机辅助装调工程化应用，达到根据失调量的计算值对光学元件进行空间位置误差校正的目的，提出了失调量的计算值和调整机构调整量之间的过渡方法，利用坐标变换和最小二乘优化算法建立了失调量调整量的关系模型，完成了两者坐标基准过渡。仿真结果表明，根据此方法自编程序计算出的平移调整量精度可达10-6 mm量级，角度调整量精度可达0.02″量级，计算精度远高于光学系统的装调要求。在模拟装调过程中，与直接采用失调量计算值对元件调整的结果相比，此方法的调整结果明显好于前者。对于不同的光学元件装卡方式和调整机构，可对此算法的相关参量进行赋值，灵活运用于不同的工况，为计算机辅助装调的实际工程化应用提供理论依据。

提出傅里叶望远镜外场成像实验的光学系统组成，详细介绍光学系统的装调和检测过程，并对模拟目标进行成像实验。采用3束不同频率的激光照射模拟目标并在目标表面形成干涉条纹，利用拼接主镜接收散射回波能量，再经次镜汇聚，最后进入压缩透镜组被光电倍增管探测。实验结果表明：主镜支撑结构稳定性优于0.075 mrad，子镜指向调整精度优于0.05 mrad，对安装的61块子镜进行共焦试验，光斑质心重合精度小于20 mm。最后，对3 mm的模拟目标进行外场成像实验，结果表明：室外环境下傅里叶望远镜的成像效果与实验室内成像效果及计算机仿真结果吻合较好，为后续反射模拟目标的成像提供了参考。

介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量.利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相应失调量的大小.在此基础上进行多次模拟装调,证明各种情况都是收敛的,可以实现精密装调的目的.