1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
3 中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心, 北京 100190
利用TMCM-351E驱动控制板卡及自编的自动准直控制软件对高功率激光装置光束进行检测和准直,并设计了一套新型光路监测准直系统。采用变结构控制算法实现了近远场基准中心和光斑中心的自动提取,有效地提高了系统的精度、稳定性和准直效率。在实验平台上进行了验证。实验结果表明,相对传统监测准直方法,该监测准直系统平均准直误差为空间滤波器小孔直径的0.9%,能够满足准直系统远场调整精度(小于小孔直径的5%)和近场调整精度(小于小孔直径的1%)的要求,在连续10 h测试过程中,角度抖动为±12.6 μrad,显示出高的稳定性。该系统在某高功率激光装置的光路自动准直中得到有效应用。实际验证表明,8路预放光路准直时间小于3 min,主放光路准直时间小于7 min。
激光技术 集控系统 高功率激光 自动准直 图像处理 光斑取样中心 中国激光
2013, 40(10): 1002003