1 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
2 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
3 四川大学,原子与分子物理所,四川,成都,610065
采用激光粒度仪、透射电子显微镜(TEM)、傅里叶红外分析测试仪(FTIR)以及紫外可见分光光度计(UV-Vis)等测试手段,研究了在酸性条件下制备SiO2溶胶过程中硅烷偶联剂(KH-570)对二氧化硅(SiO2)溶胶性能的影响.结果表明:加入硅烷偶联剂改性的SiO2溶胶体系分散均匀无团簇,并且由此制得的SiO2薄膜透光率高于没有经过改性的薄膜.
SiO2溶胶 偶联剂 颗粒尺寸 分散性 光透性
