1 中国科学院南京天文仪器研制中心,南京 210042
2 中国科学院大学,北京 100049
3 合肥工业大学 光电技术研究院,合肥 230009
在非球面的检测中,工艺球面补偿检测是最普遍的方法。针对该方法适用范围的局限性,本文提出了应用工艺球面补偿检测时非球面所必须满足的条件。根据波像差理论和瑞利判据,推导出凸二次曲面能够应用工艺球面补偿检测所必须满足的条件,并采用有限距离正面补偿检测的方法,对工艺球面补偿检测的局限性提出了改进。最终结果表明本文所提出的理论能够判定,所需要研制的凸双曲面镜不能直接应用工艺球面补偿检测,而组合补偿检测方法能够保证凸双曲面的面形精度δPV=0.159 8λ 优于λ/6(λ=632.8 nm),满足技术指标。
光学检测 瑞利判据 凸二次曲面 像差理论 optical test Rayleigh criterion convex quadric surface aberration theory
中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209
根据三级像差理论,推导用弯月透镜检验凸双曲面和凸抛物面的初始结构参数计算公式,讨论设计方法,给出设计实例。
凸二次曲面 弯月透镜 自准直检验 光学设计 convex conicoid meniscus lens autocollimatic testing opical design