北京理工大学 光电学院 光学测量研究中心, 北京100081
针对干涉测量中采集到的波面数据是大量离散采样点不易寻找单位圆用于波面拟合的问题, 提出了一种凸壳理论圆域拟合的方法。方法对采集的波面数据寻找最小覆盖圆, 经归一化后以圆Zernike为基底进行波面拟合。利用Matlab仿真分析算法的性能, 对实测数据经过处理后与ZYGO测试数据进行对比分析得到面型PV值的绝对误差为0.0047λ, RMS值的绝对误差为0.0002λ。实验表明算法可对采集的大量离散波面数据进行高效准确的Zernike波面拟合, 为进一步光学元件面型像差的分析提供可靠依据。
光学测量 Zernike拟合 凸壳理论 最小覆盖圆 optical measurement Zernike fitting convex shell theory smallest enclosing disk random incremental method
