结合均匀照明相位器件的设计实例,介绍最新提出的基于迭代框架的优化方法,并应用该方法设计制作了16台阶的衍射光学元件并对其进行了测试,验证了设计原理及方法的正确性,且对加工中可能出现的误差进行了分析和讨论.测试结果验证了采用多台阶相位结构的设计方案能有效提高工艺宽容度.
衍射光学元件 光束整形 均匀照明 分步迭代优化 Diffractive optical elements Beam shaping Uniform illumination Step iterative optimization 强激光与粒子束
2005, 17(11): 1665
