1 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春 130022
2 长春理工大学 科技部国家纳米操纵与制造国际联合研究中心,吉林 长春 130022
3 长春理工大学 空间光电技术研究所,吉林 长春 130022
提出并研究了一种带有环形出光孔的倒置表面浮雕结构垂直腔面发射激光器.该器件最突出的结构特点在于,支持稳定的单高阶横向模式激射.在输入电流为六倍阈值电流时,输出功率高达9.8 mW,边模抑制比将近30 dB.在外界为360 K高温时,输出功率仍可达4 mW.且其远场表现出的高斯光束发散角较小.
半导体激光器 垂直腔面发射激光器 单高阶模 高温 倒置表面浮雕 semiconductor laser vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) single-higher-mode high-temperature inverted surface relief