四川大学物理系信息光学研究中心,四川,成都,610064
提出酶蚀卤化银明胶制作连续深浮雕微结构的新方法。给出了卤化银明胶酶蚀成像原理和深刻蚀过程机理的理论分析。求得存在吸收时，刻蚀深度与曝光量关系的解析式。表明胶膜对光的吸收是造成其非线性关系的主要原因，并提出了解决方案和优化工艺参数，通过实验得到在刻蚀深度为4 μm范围内有良好的线性关系，最后成功制作了良好面形的微柱透镜列阵。
光化学 卤化银明胶 蛋白酶刻蚀 连续微结构 实时掩模
用一种新型卤化银材料制作卤化银明胶全息图。研究了R-10漂白液在不同Ｂ液成分及不同浓度时对其衍射效率的影响。对于空间频率为1000 lines/mm的明胶全息图,在低噪声水平下得到81%的高衍射效率,并对实验现象进行了讨论。
衍射效率 卤化银明胶 漂白
1 浙江师范大学信息光学研究所, 金华 321004
2 四川大学信息光学研究所, 成都 610064
提出一种制作连续沟形微光学元件的新方法。用移动物面上二元图案的方法来获得连续灰度的记录,再用卤化银明胶处理技术,把灰度银像转化成明胶硬度潜像,最后采用酶蚀显影工艺把潜像显现为连续沟形的浮雕结构。文中给出了原理分析和实验验证,初步结果令人满意。
微光学元件 光刻术 卤化银明胶 蛋白酶
