范镝 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033
2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
碳化硅光学反射镜已经在国民生活各个领域得到广泛应用,但是其抛光机理尚不明确。对碳化硅光学表面抛光机理进行了研究。介绍了陶瓷材料的磨削机理压痕断裂模型。应用压痕断裂模型分析了理想状态下的碳化硅抛光过程,并研究了实际抛光过程中碳化硅光学表面的抛光机理。
光学制造 抛光机理 碳化硅 压痕断裂模型 
激光与光电子学进展
2012, 49(2): 022202

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