双光束干涉仪的相位调制解调通常会用到椭圆拟合的方法来计算相应的解调参数，提出了一种用于评价这类参数的计算精度的方法。根据自适应的蒙特卡罗法，计算不同噪声水平下椭圆拟合估算的参数的最大偏差；根据实验测得的干涉信号噪声本底的大小，判断拟合的参数的精度。以基于3×3 耦合器的光纤水听器的两路输出方案为例，该方案为提高水听器的解调性能，需研究参数的数值随器件性能的变化规律，因此首先要判定实验中通过椭圆拟合所求得的参数的准确性。将该精度评定方法运用在水听器测量实验中，测量的干涉信号在20 Hz~4 kHz处的噪声本底接近-70 dB·V²/Hz，根据自适应的蒙特卡罗法，得到参数的偏差不超过0.06%和0.08°。

为了检测压电薄膜的在电场作用下的微小形变,同时避免基底弯曲效应的影响,设计了一种双光束探测干涉仪,通过反馈控制和锁相检测技术,实现了高稳定度、高分辨力的目标,最小可探测形变可达到0.001nm.系统采用计算机控制测量和数据处理,使测量更加便捷、准确.