针对基于边缘驱动的可变形透镜无法进行球差像差的问题, 该文提出了一种边缘驱动双腔可变形透镜结构。上腔体压电圆环32个致动器, 校正除球差外的其余低阶像差, 主要包括离焦、像散及慧差的校正。下腔体压电圆环1个致动器, 通过与上腔致动器的相互作用, 实现球差的校正。搭建了可变形透镜性能测试平台并进行了实验。实验结果表明, 该可变形透镜能重构前4阶Zernike像差。

提出了一种可直接生成可调艾里光束的可变形透镜,相比于其他生成艾里光束的方法,该可变形透镜可嵌入光路中直接生成艾里光束。制备了可变形透镜的原理样机,并搭建了基于波前传感器的艾里光束生成系统。实验上基于制备的可变形透镜生成了高质量的立方相位可调的艾里光束,生成的立方相位的残余误差小于相应目标幅值的3.4%,生成的艾里光束的光强分布和传播特性与理论结果相吻合,故该可变形透镜在直接生成可调艾里光束方面有潜在的应用价值。

为了对光刻物镜的像差进行补偿，设计了一种主动液体透镜，并分析了该主动液体透镜变形过程中的像差变化特性。用去离子水、氟化锂设计了一种主动液体透镜，在考虑重力及静水压力的情况下，分别计算了一点至六点均布、各点均匀施加载荷作用下镜片的变形；然后对变形镜片的挠度进行了Zernike多项式拟合，得到了各标准Zernike多项式系数所表示的像差与机械挤压力之间的函数关系。计算表明：主动液体透镜的各标准Zernike多项式系数值随受力大小呈强线性关系；除一点受力变形外，在多点受力变形情况下主动液体透镜像差的前三项均为piston，defocus及n-foil；主动液体透镜对piston项及defocus项这两种像差的调节能力随受力点的增加有增强趋势，而对其他类型像差的调节能力则呈下降趋势。