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仪器，测量与计量
微细光刻中部分相干系统成像研究
罗先刚 陈旭南 姚汉民 
作者单位
摘要
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 成都 610209
分析了投影光刻系统中部分相干成像的过程,结果表明部分相干成像的像强是相干成像的像强对光源上每一点互相干强度的权重和。得出了近年来改进照明条件提高分辨力的物理本质:部分相干成像系统是一个空间频率可变的系统,频率的调制是通过照明函数的变化来实现的。提出了进一步提高光刻分辨力的新途径。
部分相干成像 四极照明 环形照明 二元光栅照明 
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光学学报
1998, 18(12): 1703
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