1 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
2 中北大学电子测试技术重点实验室，太原 030051
基于量子相干效应中的电磁诱导透明，设计了一种四环级联谐振腔结构，并对其产生的耦合诱导透明现象进行了理论分析.利用时域有限差分法和束传输法对结构的关键参量进行了仿真模拟，采用电子束光刻与感应耦合等离子刻蚀工艺相结合的方式完成了结构的加工制备.实验中利用垂直光栅耦合法对结构进行测试，测试结果表明：由于相消干涉，该结构可以引起一个狭窄的透明峰；每个环形腔之间相互干涉，产生了两个透射峰，从而实现对光传输的延迟，其中一个透射谱半高全宽为0.022 nm，对应的品质因数为0.72×105，且两个谐振峰之间的距离相隔0.084 nm.波导直通端与下载端的谐振谱线吻合，与理论分析相符.
光波导 色散 谐振诱导透明 四阶环形腔结构 品质因数 Optical waveguide Dispersion Coupled-Resonator-Induced-Transparency (CRIT) Fourth-order ring resonator Quality factor (Q)
