1 第二炮兵工程学院,西安 710025
2 西北工业大学 精确制导与控制研究所,西安 710072
3 西安工业大学 光电学院,西安 710032
4 航天科技集团第六研究院7103 厂,西安 710100
针对密集波分复用(DWDM)技术中所使用的梳状滤波器,对固体腔研磨厚度指标要求极高Δν＝200 GHz,Δd≤13.37 nm,本文提出运用法布里－珀罗干涉理论(Fabry-Perot),研究设计了一种针对固体腔厚度的现场检测方法。该方法根据被测元件等效为系统干涉腔的间接测量方法,以通过被测元件后的法珀相邻能量极值特性,作为检测厚度合格的判定依据,实现了对超窄带梳状滤波器组成元件——未镀膜层固体腔(SiO2)的高精度厚度检测。实验结果表明,该测量方法适用于对透光介质的厚度检测。
梳状滤波器 固体腔厚度 高精度测量 滤光片设计 F-P 法珀干涉 optical comb filter solid cavity thickness high-precision measure light filter design Fabry-Perot (F-P) interferometer
