为避免双天线InSAR系统基线测量动态监测过程中引入误差，影响基线测量精度，对基线长度与角度测量过程中的可能误差进行定性与定量分析。采用坐标变换法建立系统误差数学模型，明确测量系统的误差来源。提出误差灵敏度概念，对误差项进行定量计算，并对每一自由度的误差源进行灵敏度分析，进一步形成综合误差定量合成结果。根据误差灵敏度系数给出一组精度反演误差分配案例。最后，依据蒙特卡洛法在MATLAB平台闭环验证精度量化分配方法的可行性与稳定性。仿真分析结果表明，激光视觉三轴位置的测量精度要求为300 μm（3σ），三轴角度的测量精度要求为50''（3σ），即可满足基线长度精度1 mm（1.6σ），基线角度精度2''（1.6σ）。通过本方法可由测量环境条件输入直接获得基线测量的精度，根据灵敏度系数对误差分配进行反演可以得到系统最优布局，其结果可为测量系统的方案设计与精度分解提供有效指导。