1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130033
2 中国科学院研究生院, 北京 100039
运用微分理论对刻线密度为1200 lp/mm的紫外刻划光栅母版及其二代复制版的衍射特性做了模拟,指出了二者之间存在的差异,并与测试结果做了对照。数值模拟表明,紫外刻划光栅二代复制版的衍射特性与其母版略有不同,原因是光栅槽形发生了改变,分别给出了采用多项式拟合槽形函数和傅里叶级数拟合槽形函数的方法。此理论分析方法为澄清光栅复制工艺中的争议完善翻版技术以及寻找提高紫外光栅衍射效率的途径提供了很好的理论参考依据。
衍射与光栅 紫外刻划光栅 复制光栅 衍射特性 微分法
介绍了一种云纹干涉法现场转移高密度光栅的新工艺,将现场转移光栅与实验室测量有机结合起来,同时得到物体变形的面内U、V位移场。从理论上分析讨论该方法的可行性及误差,通过实验验证该方法与传统云纹干涉法具有相同的灵敏度和量程,使云纹干涉法应用范围更加广泛。
云纹干涉法 面内转动 离面转动 现场复制光栅技术
