1 西安理工大学 应用物理系, 西安 710048
2 西安工业大学 光电工程学院, 西安 710032
使用非平衡测控溅射技术沉积了类金刚石薄膜, 对比了外加偏置电场前后薄膜的抗激光损伤表面形貌变化, 发现薄膜施加偏置电场后, 薄膜的激光损伤区域内有大量丝状薄膜, 损伤形貌存在明显不同, 损伤面积减小, 薄膜的激光损伤情况得到改善。这表明外加偏置电场对薄膜的损伤有影响, 激光在薄膜中激励产生的光生电子在电场作用下产生快速漂移, 间接降低了激光辐照区域内的局部能量密度, 减缓了薄膜的石墨化, 提高了薄膜的抗激光损伤能力。
外加偏置电场 类金刚石薄膜 激光损伤 损伤形貌 external electric field diamond-like carbon film laser induced damage threshold damage morphology
