1 山东大学(威海)机电与信息工程学院, 山东 威海 264200
2 山东大学燃气检测技术中心, 山东 威海 264200
3 华晨汽车工程研究院, 辽宁 沈阳 110000
激光诱导击穿光谱(LIBS)信号的稳定性受激发光在目标表面聚焦准确性的影响很大。在海底热液喷口烟囱体探测等应用现场,难以通过对目标样品进行预处理这种常规方法来提高对焦精度,一套快速、高精度对焦系统对LIBS探测有重要意义。将显微自动对焦系统与图像对比度评价方法相结合应用于LIBS探测系统中以提升对焦精度,以双色激光辅助对焦方法扩大寻焦范围并加快对焦速度。实验证明两种方法结合可以实现2400 μm的对焦范围和20 μm的对焦精度,并明显提升对焦速度,有望提高现场探测时的LIBS信号质量和光谱采集效率。
机器视觉 大范围寻焦 对比度评价 激光诱导击穿光谱 图像处理 显微成像 光学学报
2018, 38(12): 1215004
