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相同关键词【实时掩膜】论文列表

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物理光学

液晶实时掩膜技术制作连续微光学元件

彭钦军 ^*郭永康陈波刘世杰曾阳素

作者单位

摘要

四川大学物理系信息光学研究中心,成都,610064

提出制作连续微光学元件的一种新技术――液晶实时掩膜技术,阐述了其基本原理和制作方法。基于部分相干光成像理论,采用计算机模拟了用实时掩膜制作微透镜和微轴锥镜阵列的过程。同时建立了实验装置进行实验,用全色银盐干板(Kodak 131)通过酶刻蚀得到口径为118.7 μm,深为1.322 μm的56×48的轴锥镜的列阵。

应用光学实时掩膜液晶显示器件连续微光学元件光刻

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光学学报

2003, 23(2): 220