浙江大学光电信息工程学系, 浙江 杭州 310027
在光学系统偏振传输理论的基础上，对一高数值孔径（NA）的透射式光刻系统进行了偏振分析，分析中考虑了系统的实际特性现有工艺水平可制备的增透膜、薄膜和基底材料的吸收作用以及偏振照明，以增加分析结果的可靠性。通过计算系统各光学界面的透射率、反射率、吸收率及二次衰减值等偏振参数，得到镀膜、吸收作用以及不同偏振照明对系统传输性能和成像性能的影响。结果表明镀膜能有效提高该光刻系统的性能及稳定性，并可以将不同偏振照明对该系统性能的影响减小至可忽略的水平；同时，显著的基底吸收作用是该系统能量损失的主因，但吸收引入的偏振作用相对总体而言较小。
光学设计 投影光刻 偏振分析 高数值孔径 实际系统 增透膜 光学学报
2013, 33(11): 1122002
