1 中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心, 山西 太原 030051
2 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 电子测试技术重点实验室, 山西 太原 030051
基于叠加统计独立散斑图像的散斑抑制原理, 设计了一个具有N个透光孔的掩模板, 将其放置于成像透镜出瞳面上, 理论研究了产生统计独立散斑图像所需的条件。在简化光学系统中, 将散射片与探测面分别置于透镜成像共轭面上, 通过系统实验, 分析了多孔掩模板上相邻两个透光孔的不同中心间距以及单个透光孔孔径对统计独立散斑图像形成的影响, 其中单个透光孔孔径也会影响散斑颗粒的大小。在不考虑实验装置对测试精度的影响下, 实验结果与理论分析吻合。
激光光学 激光投影 激光散斑 多孔掩模 统计独立散斑图像
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室， 吉林 长春 130033
在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量，其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理，对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国内外现有小孔掩模加工技术的发展进行了归纳总结，阐述了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点，指出了掩模对准精度对测量重复性的影响。分析了各种检测方法及存在的主要技术问题，并对小孔三维形貌的测量技术进行了展望。
光学器件 小孔掩模 电磁场仿真 波像差 激光与光电子学进展
2013, 50(3): 030004
