作者单位
摘要
天津大学微电子学院, 天津 300072
提出一种分区间曲线拟合方法来准确获取干涉条纹的中心点。该方法根据干涉条纹图灰度值分布规律, 首先对干涉条纹R值图进行高斯低通滤波, 在保留原始条纹信息的基础上去除噪声;然后,在滤波后的图像中选取法线方向的一列像素值,得出灰度分布曲线;最后,截取邻近峰值的一段图像,对增、减两个区间进行分段曲线拟合,求得两段曲线拟合函数的交点即为干涉条纹中心。实验证明,该方法具有较好的曲线拟合效果,其速度相对于Steger算法提高了近10倍。该算法能有效地根据干涉条纹灰度分布规律得到干涉条纹中心点,具有运算简便、精度高、抗干扰的特点。
测量 干涉位移测量 中心点提取 区间拟合 高斯滤波 
激光与光电子学进展
2021, 58(8): 0812002

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!