作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光栅技术研究中心, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测器的最佳探测位置。结合分光及相位调整功能,给出了分束光栅参数的设计方法。针对光栅曝光特点设计了控制器。从理论上对比了分束光栅与压电反射镜的相位调整性能。实验结果表明,采样频率为500 Hz时,干涉条纹的低频漂移得到有效抑制,相位锁定精度达到0.13 rad (3σ),即条纹漂移量低于±0.021个周期。该方法可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,提高曝光对比度。且分束光栅偏转对条纹周期影响小,相位调整性能仅与分束光栅参数相关,便于光路设计。
全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 
中国激光
2017, 44(5): 0509001

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