1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033
2 中国科学院 研究生院, 北京 100039
为提高上海光源搭建的国内首条软X射线谱学显微光束线站的整体性能，分析了其分光装置-变包含角平面光栅单色仪在波长扫描过程中影响谱学显微光束线光斑水平漂移的各个因素，推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关系，并结合具体要求进行了误差分配。针对光斑水平角漂移重复精度的检测，采用自准直原理，构建了测试系统。利用该系统，完成了谱学显微光束线站光斑水平漂移重复精度的离线检测，其结果为0.67″，满足设计指标1″的要求。对安装调试后的束线进行了总体性能测试，结果均满足谱学显微设计和使用要求。由此表明，提出的对谱学显微光束线光斑水平漂移误差来源的分析及检测方法，有效保证了束线性能的实现。
变包含角平面光栅单色仪 谱学显微光束线 光斑水平漂移 误差分析 variable-included-angle plane grating monochromato spectromicroscopic beamline light spot transversal transfer error analysis
中国科学院 上海应用物理研究所,上海 201800
为准确测量上海光源软X射线谱学显微光束线采用的变包含角平面光栅单色仪的转角重复精度,提出了一种新的基于相位板衍射准直技术的测量方法。该方法将半导体激光单模光纤和相位板衍射准直技术结合起来,利用面阵CCD采集图像,通过测量光斑的位移变化确定平面镜和光栅的角度变化。实验表明,该方法可以测量掠入射情况下单色仪联动时的转角重复精度,测量精度可达±0.1″,此测量精度优于同等实验条件下的商用ELCOMAT 3000自准直仪的测量精度。
测量 相位板 衍射准直 平面光栅单色仪
