北京信息科技大学 光电信息与通信工程学院, 北京 100192
为实现小型化、非接触式、快速高精度的位移测量, 设计并搭建了基于光学彩色共焦原理的位移测量系统。系统中数据拟合采用的方法是, 对光谱响应函数极值周围的数据进行高斯叠加拟合, 以获得光谱响应曲线的峰值, 从而得到峰值所对应的波长。经过实验验证, 系统的测量范围为2mm, 测量精度可以达到10μm, 线性度为3.4%, 光谱响应的半高宽(FWHM)为49nm。因此能够满足一定精度的位移测量需求。
光学测量 位移测量 彩色共焦 光谱编码 optical measurement displacement measurement chromatic confocal chromatic codification
