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光电子学
微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景
蒋军彪 韩宗虎 
作者单位
摘要
西安飞行自动控制研究所, 西安 710065
综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列 ;简要叙述其发展历程 ,着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向 ,并对应用前景进行分析。
微型反射镜阵列 微型化技术 微机械系统 微光学电子机械系统 
PDF全文 Full Text
激光与光电子学进展
2001, 38(4): 40
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