研究了典型微机械应力测试结构的温度特性及从源头上抑制热应力的方法。设计了一种可以代表微机械系统(MEMS)器件温度特性的应力测试结构，并分析了温度对其固有频率的影响机理。指出了与材料弹性模量、结构尺寸变化相比，轴向应力是影响该结构固有频率温度稳定性的主要因素，同时设计了一种可以释放热应力以及加工残余应力的应力隔离结构。考虑硅的线膨胀系数随温度变化的特性，通过建模仿真和实验测试获得了应力测试结构、应力隔离结构的轴向应力以及固有频率的温度特性。结果表明: 在-50 ℃~+85 ℃，应力隔离结构将轴向热应力抑制到了应力测试结构的2个数量级以下，固有频率-温度系数由5.0×10-3ppm/℃左右降到了5.0×10-5ppm/℃以下。结果显示: 设计的应力隔离结构具有非常良好的应力隔离效果，从源头上抑制了主要的温度影响因素引入整个微机械系统，可以应用于其它MEMS结构以获得良好的温度稳定性。

设计了一种Si基金刚石薄膜上的SAW RF MEMS滤波器, 其中心频率为400MHz, 叉指换能器(IDT)线宽为5μm。采用中物超硬材料公司定制的硅基金刚石薄膜基片, 利用射频溅射方法在金刚石薄膜上制备了厚度为2μm的ZnO压电薄膜, XRD分析证明其具有良好的C轴取向。采用剥离工艺制备IDT, 通过精细的工艺控制, 得到了设计的IDT图形。最后, 对该滤波器样品进行了封装和测试。测试结果表明, 其中心频率为378MHz, 插损为15.9dB。

综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列 ;简要叙述其发展历程 ,着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向 ,并对应用前景进行分析。