1 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室, 陕西 西安 710072
2 西北工业大学深圳研究院, 广东 深圳 518057
设计并加工制作了一种基于绝缘体上硅(SOI)制备工艺的新型静电驱动二维微型扫描镜，并对其工作原理进行了分析。为了有效预测该微型扫描镜的谐振频率及相应的振态，采用有限元分析软件ANSYS对其进行建模和前五阶模态的仿真，并从理论上分析了前两阶扭转模态谐振频率的计算方法。使用激光多普勒测振仪对该扫描镜的谐振频率进行了测量。测量结果表明，二维微型扫描镜前两阶扭转模态的谐振频率分别为402 Hz和1218 Hz。该测量结果与软件仿真结果基本吻合，少许差异是由于在仿真模态时未考虑梳齿结构、空气阻尼及环境温度等因素造成的。本研究对设计出结构更简单的静电驱动微型扫描镜有重要的参考价值。
光学器件 绝缘体上硅 微型扫描镜 模态仿真 谐振频率
