红外**系统的快速发展,对红外仿真系统提出了更高的要求.微桥电阻阵列作为红外仿真系统的核心器件,其性能的提高对红外仿真系统的发展至关重要.微桥电阻是利用电阻加热微辐射元来产生红外辐射的,根据微桥电阻的工作原理可知,提高微桥电阻阵列单元辐射效率是微桥电阻性能提高的关键技术之一.利用以Al为反射层电阻、空气为中间介质层和TiNx为吸收层电阻组成的谐振腔结构可以明显提高所需波段的红外辐射效率,从而提高微桥电阻的性能.共振吸收结构为微桥电阻阵列的进一步低功耗、大面阵化提供了有效的设计和制作途径.
共振吸收 微桥电阻阵列 红外景象产生器
随着微机械加工技术的发展,电阻阵列成为一种最具发展潜力的动态红外景象产生器.在半实物(HWIL)仿真系统中,它被用来对红外摄像机、导弹寻的器以及各种红外探测系统的实时性能进行测试和评估.电阻阵列采用电阻元作为其微辐射元,当电流流过时,电阻元产生热量进而产生红外辐射.通过控制流过每个电阻元的电流就可以控制电阻的温度,从而达到显示红外图像的目的.介绍了利用表面微机械加工技术研制的电阻阵列基本组成单元--微桥电阻的辐射特性,主要包括:微桥电阻介质膜红外光谱辐射率、等效黑体辐射温度以及温度分辨率等,并通过分析得出该微桥电阻具有低功耗、高等效黑体辐射温度的特点,能够满足中波和长波红外目标模拟的需要.
微桥电阻 红外光谱辐射率 等效黑体辐射温度 温度分辨率 半实物仿真 Suspend resistor IR emissivity Effective blackbody temperature Temperature resolution Hardware-in -the-loop simulation
