中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
大口径菲涅耳透镜由多个子镜拼接而成，子镜失调误差会影响拼接菲涅耳透镜的成像质量，以瑞利判据作为评价标准，根据菲涅耳透镜波前像差理论，分析了拼接菲涅耳透镜子镜各个自由度失调误差公差允限，给出了理论计算公式。分析表明：拼接菲涅耳透镜F数越大，各自由度失调误差公差允限越宽松。采用Zemax软件进行理论仿真，利用干涉仪对拼接波前进行实验检测，检测结果显示，拼接波前与理论计算最大误差为0.006λ，验证了理论的正确性。分析结果为拼接菲涅耳透镜光机设计、检测与装调提供了理论依据与指导。
测量 误差分析 拼接衍射透镜 菲涅耳透镜 光学波前
