作者单位
摘要
中国科学院上海光学精密机械研究所
本文描述了自制的带环面镜的消像散掠入射球面光栅谱仪的设计和性能,并报告了利用它在20~120(?)波层范围观(?)铍,碳氟二锂和氟化钙的激光等与子体极紫外发射光谱的实验结果.
极紫外光谱学 激光等离子体 掠入射谱仪 环面镜 
光学学报
1988, 8(8): 762

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