1 陕西华星电子集团有限公司,陕西 咸阳712099
2 西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安710021
随着光学元件的广泛应用,对光学元件面形检测提出了更严格的要求。目前常用的检测光学元件面形的方法有数字刀口检测技术和干涉检测技术,比较这两种方法的检测原理及优缺点,提出了一种适用于工厂在线检测的三维检测方法——投影检测技术。用该方法的检测原理和关键技术对光学元件进行实验验证,证明了投影检测技术这一新方法具有实际应用价值。
面形检测 数字刀口检测技术 干涉检测技术 投影检测技术 surface characterization inspection digital edge detection technology interference detection technology projection detection technology
1 西安应用光学研究所, 陕西 西安 710065
2 南京理工大学光电学院, 江苏 南京 210094
在传统刀口仪的基础上，提出一种数字化刀口仪,利用该刀口仪可实现球面光学元件表面面形的定量检验。介绍数字刀口仪的组成、工作原理及测试过程等,并利用该刀口仪对一个半径为1000mm，口径为160mm的球面光学元件的面形进行了实际测量，给出了光学元件均方根值和峰谷值测量结果，最后对测量结果进行了讨论。
刀口检验 面形误差 数字刀口仪 图像处理 波像差 Foucault test wavefront error digital knife-edge testing system image processing wave aberration
四川大学 电子信息学院, 四川 成都 610064
随着光学元件口径的增大, 光学系统对精度的要求提高, 传统干涉仪检测手段已经不再满足要求。为了提高制造效率, 需要适当的在线检测技术和多工段检测手段。结合现阶段系统研制的需要, 介绍了子孔径拼接干涉检测技术、数字刀口检测技术以及红外干涉检测技术, 分别对其基本原理和具体应用进行了分析。
精密检测 大口径光学元件 子孔径拼接 数字刀口 红外干涉仪
四川大学,光电科学技术系,四川,成都,610064
为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术, 把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪.采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置,引入PSD来描述频域信息.对125mm和150mm口径的球面镜进行检测,实现了传统刀口仪不能完成的定量检测,获得了面形分布,检测精度P-V值达到0.12°=532nm°.通过与干涉仪测得P-V值0.057相比较,验证了数字刀口检测的可行性,而且得到的数据还可进一步进行像差分析,为镜面误差的加工修正提供依据.
面形测量 球面镜 刀口检测法 数字刀口 定量分析
介绍了数字刀口检测原理,建立了检测装置,编制了运算软件,对φ125～150mm口径的球面镜进行检测,获得了面形分布.通过与干涉仪测量结果相比较,验证了数字刀口检测方法的可行性,为镜面误差的加工修正提供了依据.
光学面形检测 数字刀口 定量分析 surface characterization test digital knife-edge quantitative analysis
