1 中国科学院 长春光学精密机械及物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100039
3 中国人民解放军防化研究院, 北京 102205
针对利用高精度菲索型干涉仪和旋转平均法对光学元件进行面形绝对检测时对旋转精度的要求, 提出了一种旋转误差校正模型来修正面形绝对检测中的旋转非对称项误差。首先基于经典N步旋转平均法理论, 通过泽尼克多项式给出面形误差的数学表达形式; 然后根据旋转角度所引起的误差修正泽尼克系数进而修正旋转非对称项误差; 最后用数值仿真及实验的方法验证了校正模型的正确性。在旋转角度误差为0.1°条件下的仿真结果显示: N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.13%, 校正后面形误差RMS值为真实面形的6.79%; 实验结果显示: N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.28%, 校正后面形误差RMS值为真实面形的5.77%。这些结果证明所提出的校正模型准确可靠, 提高了旋转平均法的检测精度。
菲索干涉仪 旋转平均法 旋转非对称项面形误差 面形绝对检测 泽尼克多项式 Fizeau interferometer rotational averaging method rotationally asymmetric surface deviation absolute flatness detection Zernike polynomial
