清华大学微电子学研究所, 清华信息科学与技术国家实验室, 北京 100084
拉曼光谱对被测样品的晶格与分子振动、转动能量非常敏感, 而且拉曼光谱的测量具有非破坏性。在微纳电子学研究中, 需要原位的、高空间分辨率的、非接触的测量方法研究各种材料、器件的晶态、应力、热学性质等参数。由此, 显微拉曼光谱术就成为一种能够满足上诉要求的、实现多种参数测量的重要的手段。本文通过调研和实验研究了显微拉曼光谱术在硅、低维碳纳米材料等的晶态、应力、热学等研究领域的具体应用, 以及一些新出现的研究手段。从大量的相关报道不难看出, 显微拉曼光谱术在微纳电子学的进一步发展中将会有更为广泛和深入的应用。
显微拉曼光谱术 微电子 晶态 应力 温度 热导率 micro-Raman spectroscopy microelectronics crystallinity stress temperature thermal conductivity
1 上海大学理学院物理系, 上海 200444
2 上海大学分析测试中心, 上海 200444
利用显微拉曼光谱仪研究了近红外飞秒激光脉冲诱导二氧化钛金红石单晶所引起的相变。实验发现当激光的平均功率为300 mW时,随着辐照时间的增加,金红石相的Eg模式强度增强,而A1g模式强度减弱,由此得出激光诱导晶体产生了色心;辐照时间为10 s时,锐钛矿相出现;并且随着辐照时间的增加,锐钛矿相的拉曼振动模式强度增强,金红石相的减弱。然而当辐照时间确定为1/63 s时,随着激光功率的增加,金红石Eg模式强度与A1g模式强度的比值增加,而没有锐钛矿相出现。
超快光学 相变 锐钛矿 飞秒激光 显微拉曼光谱术
