为提高晶体对波长为0.1~20 nm的X射线的衍射效率，通过特殊工艺对特定晶体表面进行位错处理。将云母、α-石英和LiF晶体劈成80 mm×10 mm的晶体薄片，其中LiF晶体厚度研磨到1 mm，其余三种晶体厚度为0.2 mm。将LiF晶体加热到400 ℃，然后用椭圆型折弯机进行多次弯曲，自然冷却降到室温，使晶格发生位错现象。在波长为0.154 nm的Cu靶X射线衍射仪上进行衍射试验，经晶体后利用成像板或X射线CCD获得衍射谱线，其中Mica球弯晶获得多级衍射谱线，经过表面处理的LiF晶体获取的X射线光子数比未处理的高2倍。结果表明晶体表面经过位错处理后提高了衍射效率，更适合X射线诊断研究。