长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
提升宽条形半导体激光器水平方向激射光输出的光束质量，改善宽条形半导体激光器的工作特性，一直是大功率、高亮度宽条形半导体激光器器件工艺研究的难点。基于激射光在无源波导内的衍射原理制备宽条形半导体激光器的模式滤波结构，利用AlxNy绝缘介质薄膜应力使基底半导体材料带隙变化的原理制备无吸收无源波导。将两者结合，设计制备了带有无吸收模式滤波器结构的宽条形半导体激光器，使器件平均最大输出功率提高49%，垂直发散角达20.6°，水平发散角达3.3°，3500 h老化实验，其千小时退化率小于0.085%。
激光器 高亮度半导体激光器 模式滤波 无吸收无源波导 应力
1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
2 中国科学院研究生院,北京 100039
将掺铒有源波导材料引入环形谐振腔结构,从理论上分析了有源波导环形谐振腔的滤波特性。结果表明由于抽运光提供的增益补偿了腔内损耗,使得环形谐振腔满足临界耦合条件,实现对信号光的最佳陷波,同时发现通过改变抽运光功率,可以对精细度和带宽进行动态调谐。分析了铒离子掺杂浓度、信号光功率以及抽运光耦合系数对最佳陷波抽运功率的影响,为有源波导器件设计制作提供了理论依据。
集成光学 有源波导 环形谐振腔 陷波深度 精细度
