位置敏感探测器(PSD)测量误差主要来自于自身非线性、干扰和安装倾斜的影响, 且PSD的直接测量范围受限于探测器的尺寸。针对这些问题, 分析了自身非线性、干扰和安装倾斜的影响原理, 根据测量值与实际值的线性关系, 提出利用伺服模组与PSD相结合的光斑跟踪系统来进行局部拟合实时校准的方法减小干扰影响并消除PSD安装倾斜误差, 利用线性度较好的中间区域减小自身非线性影响。实验以Al2O3/PEN为样品, 利用研制的光斑跟踪系统对上述方法进行的验证结果显示, 线性相关系数维持在1±0.001 5/40 mm之间, 线性度标准误差减小到0.3 μm/40 mm以下, 最大误差在16 μm/40 mm之内且测量范围也可增大到模组的行程200 mm, 此方法简单有效、灵活实用, 特别适用于光强度弱且多变和测试范围较大的场合。