兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件，同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点，其制造工艺与集成电路工艺兼容，可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一，能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求，其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理，综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果，并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。

太赫兹( THz)波具有很高的研究价值和广阔的应用前景，实现 THz技术广泛应用的关键之一是研制高功率、高能量、高效率、室温运行、可调谐、低成本和便携式的 THz光源。光泵气体THz激光器具有功率高，能量大，波长范围广，技术可靠等优点，在透视成像和无损检测等领域成为可靠的 THz源。本文对利用横向激励高气压( TEA) CO2激光器 9P(20)支线泵浦 CH3F气体产生的 496 μm THz波进行实验研究，并对影响 THz波能量输出的主要因素进行分析讨论。实验中获得的最大THz波脉冲能量为 57.14 μJ，输出波长为 490 μm。

设计了玻璃基底上的边对边型纳米棒聚合体周期性阵列结构,研究其磁共振机理,并用以实现Fano型共振。在横向激励下,即外加电场垂直于纳米棒长轴时,平面型纳米棒三聚体可实现单次Fano共振,而金属-绝缘体-金属型(MIM)纳米棒聚合体可实现双Fano共振。采用有限元法模拟分析了聚合体阵列在可见光至近红外波段内的近场电磁分布和远场消光谱,研究了其共振峰的特性与实现机理。分析表明,纳米棒局域表面等离激元共振模式的近场耦合与叠加,激发其磁表面等离激元(MSPs),从而得到Fano型共振。尤其MIM纳米棒的引入,为双次乃至多次Fano共振的实现提供更多可能。所设计纳米棒聚合体阵列的Fano共振损耗小,品质高,其带宽仅为30~50 nm,有望应用于多波长生化传感检测、光开关等器件中。

为了获得气体流速分布均匀性对激光器注入能量和输出能量的影响，运用计算流体动力学(CFD)方法对放电区流场进行模拟分析，得到放电区气体流速的纵向分布和竖向分布。根据影响流速分布不均匀性的因素，对整个流场进行优化改进。根据流体动力学原理及激光器结构及其轻量化要求，在原有结构基础上增加3层隔板以改善流场分布特性。优化后，放电区气体平均流速达到99.3 m/s，流速的纵向不均匀度为5.2%，竖向不均匀度为7.1%。激光器的重复频率由300 Hz提高到365 Hz，单脉冲注入能量由160 J提高到171.5 J，输出能量由20 J提高到21.8 J，激光发散角减小了0.5 mrad。改善放电区流场分布特性可提高激光器的整体性能。

为了研究气体配比、抽运电子密度、腔长对脉冲横向激励大气压CO2激光器输出功率的影响, 采用了六温度模型的方法, 对工作气体中不同分子振动模式间的能量转移和激光输出功率进行了理论分析和模拟。当CO2,N2,He的体积比由4∶30∶65上升到6∶30∶65时, 脉冲功率增加, 输出延迟时间变短; 当CO2,N2,He的体积比由5∶15∶65上升到5∶35∶65时, 脉冲功率按先增加后减小的趋势变化, 在N2比例约为25时达到最大; 当CO2,N2,He的体积比为5∶30∶65、最大抽运电子密度由4×1012/cm3增加到6×1012/cm3、腔长由2m增加到4m时, 脉冲功率都会逐渐增加; 脉冲功率越大时, 输出延迟时间越短, 但有更长的拖尾现象。结果表明, 气体配比、抽运电子密度、腔长对脉冲输出功率有影响, 该研究为设计和优化激光器提供了参考。

为了获得两束波长不同的可调谐CO2激光脉冲,采用了双光栅与输出镜构成双谐振腔的结构设计。实验中,对影响激光器脉冲输出能量和调谐范围的参量作了具体分析。结果表明,两个谐振腔可以独立振荡输出不同波长的两束激光,二者之间不存在竞争影响,并且均可在大范围内调谐输出;通过对两个光栅做小幅度失谐调整,可以实现两束激光脉冲同步输出。

本文首次应用压缩腔长和适当降低总气压的简单方法,在横向激励(TE)高气压CO_2激光器中获得了单频输出。激光器腔长14cm,激活长度为10cm。气压240Torr,单频输出能量为7mJ。