光学级金刚石膜的快速生长一直是微波化学气相沉积金刚石研究领域的热点和难点之一，通常对于大尺寸金刚石膜的生长速率和光学质量不可兼得。采用正交实验方法，优化光学级金刚石膜的工艺参数，最终在高功率、高甲烷同时辅助氧气刻蚀条件下，实现了光学级金刚石材料的快速生长，其生长速率为3.1 μm/h，可见光波段内透过率最高为70.9%，10.6 μm处红外透过率达到68.9%。等离子体诊断结果表明，高质量金刚石的快速生长主要由于高功率密度有助于原子H的激发和CH4的分解，加入氧气也有助于CH4的分解，同时对非金刚石相具有刻蚀作用，从而实现了高质量金刚石膜的快速沉积。
光学级金刚石膜 正交实验法 高功率密度 高生长速率 氧气 光学学报
2023, 43(19): 1931001
以20Cr13 不锈钢板材为实验材料，采用正交实验法进行了Nd∶YAG 脉冲激光打孔实验，分析了工艺参数(脉冲能量、脉冲个数、脉冲宽度、重复频率及离焦量)对微孔成形质量(孔径和锥度)的影响程度，推荐了20Cr13 板材脉冲激光打孔的优化工艺参数组合(通过正交实验法优化得到)和优化实验条件(通过实际实验样品的测量比较得到的成形质量最好的工艺参数组合)。研究结果表明：对于20Cr13 板材Nd∶YAG 脉冲激光打孔，脉冲能量、脉冲宽度和离焦量是影响打孔成形质量的主要因素，脉冲个数和重复频率是影响打孔成形质量的次要因素。
激光技术 脉冲激光打孔 正交实验法 微孔成形 工艺优化 20Cr13 板材 激光与光电子学进展
2016, 53(3): 031410
1 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室, 陕西 西安 710119
2 中国科学院大学, 北京 100049
利用三维电磁仿真软件CST 模拟设计了一款小型电聚焦条纹管，在模拟中采用了正交实验法来确定条纹管各电极间距离及各电极电压。同时，根据条纹管像差定义对其像质进行了全面的理论分析和评价。优化设计的条纹管阴极有效工作面积直径大于28 mm，物理时间分辨率优于30 ps，边缘静态空间分辨率大于20 lp/mm，条纹管放大倍率为1.07，总管长仅为100 mm，管外围直径为50 mm。满足航天、空间探测以及海洋执法等应用领域非扫描式激光雷达技术对大探测面积、超小型条纹变像管的应用需求。
超快光学 条纹管 正交实验法 时间分辨率 空间分辨率 激光雷达 光学学报
2015, 35(12): 1232001
上海大学 机电工程与自动化学院, 上海 200072
为了确定三坐标激光测量的最佳参量组合, 获得较好的测量效果, 采用正交实验法进行了理论分析和实验验证。在选取实验中设置的第10档最快速率、频率选取为30Hz、景深水平选取为最佳景深、角度垂直于被测工件表面的参量组合下, 测量效果最佳。结果表明, 该研究中参量选择从定性跨越至定量, 可有效改善三坐标激光测量过程中参量选取难的问题。
测量与计量 三坐标激光测量 正交实验法 PC-DMIS软件 measurement and metrology three coordinate laser measurement orthogonal test PC-DMIS software
华南师范大学光电子材料与技术研究所, 广东 广州 510631
采用正交实验法分析反射碗和透镜两部件的各个因素对 LED发光强度分布的影响, 并仿真设计出优化参数后的高强度、窄光束大功率 LED。这一设计方法对 LED的一次光学系统设计具有一定的指导意义, 并有助于提高大功率 LED光学系统设计的效率, 降低 LED封装的试验成本。
正交实验法 大功率 LED 光学仿真 orthogonal experiment high-power LED optical simulation
中国计量学院计量测试工程学院， 浙江 杭州 310018
外来生物入侵已成为当前全球性的环境问题，为此迫切需要一种能实现现场检测的植物检验仪器。研究了一种用于幼虫现场检测的便携式图像分析仪，该仪器采用变焦显微物镜系统，能实现0.7～9倍的变焦；以发光二极管（LED）为光源，采用正交实验法进行反射式均匀照明系统的优化设计，使目标面上Ф50 mm的范围内照度均匀性达到83.7%；编写出专用的幼虫图像分析软件，对被检幼虫进行分析与识别。便携式幼虫图像分析仪的研制，为植物检验检疫在线检测提供了新的手段。
显微 发光二极管 正交实验法 植物检疫 激光与光电子学进展
2010, 47(12): 121202
