作者单位
摘要
1 天津大学 微电子学院 天津市成像与感知微电子技术重点实验室, 天津 300072
2 天津大学 电气自动化与信息工程学院, 天津 300072
基于深亚微米CMOS工艺, 设计了一种采用非接触式P阱保护环来抑制边缘击穿的单光子雪崩二极管结构.采用器件仿真软件Silvaco Atlas分析了保护环间距对器件的电场分布和雪崩触发概率等特性的影响, 结合物理模型计算了所设计器件的暗计数概率和光子探测效率.仿真和计算结果表明, 保护环间距d=0.6 μm时器件性能最优, 此时击穿电压为13.5 V, 暗电流为10-11A.在过偏压为2.5 V时, 门控模式下的暗计数概率仅为0.38%, 器件在400~700 nm之间具有良好的光学响应, 500 nm时的峰值探测效率可达39%.
光电器件 单光子雪崩二极管 CMOS工艺 深n阱 保护环 响应度 光子探测效率 Photoelectronic devices Single photon avalanche diode CMOS technology Deep Nwell structure Guard ring responsivity Photon detection efficiency 
光子学报
2018, 47(1): 0125001
王巍 1,*陈婷 1,2李俊峰 2何雍春 1[ ... ]王广 1
作者单位
摘要
1 重庆邮电大学 光电工程学院/国际半导体学院,重庆 410065
2 中科院微电子所十室,北京 100029
基于0.18 μm CMOS工艺技术,制作了单光子雪崩二极管,可对650~950 nm波段的微弱光进行有效探测.该器件采用P+/N阱结构,P+层深度较深,以提高对长光波的光子探测效率与响应度;采用低掺杂深N阱增大耗尽层厚度,可以提高探测灵敏度;深N阱与衬底形成的PN结可有效隔离衬底,降低衬底噪声;采用P阱保护环结构以预防过早边缘击穿现象.通过理论分析确定器件的基本结构参数及工艺参数,并对器件性能进行优化设计.实验结果表明,单光子雪崩二极管的窗口直径为10 μm,器件的反向击穿电压为18.4 V左右.用光强为0.001 W/cm2的光照射,650 nm处达到0.495 A/W的响应度峰值;在2V的过偏压下,650~950 nm波段范围内光子探测效率均高于30%,随着反向偏压的适当增大,探测效率有所提升.
单光子雪崩二极管 标准0.18μm CMOS工艺 深N阱 保护环 击穿特性 响应度 光子探测效率 Single Photon Avalanche Diode (SPAD) Standard 0.18 μm CMOS process Deep n-well Guard ring Breakdown characteristics Responsivity Photon detection efficiency 
光子学报
2017, 46(8): 0823001
作者单位
摘要
重庆邮电大学 光电工程学院/国际半导体学院, 重庆 400065
基于标准0.35 μm CMOS工艺设计了一种单光子雪崩二极管器件.采用p+n阱型二极管结构, 同时引进保护环与深n阱结构以提高单光子雪崩二极管性能;研究了扩散n阱保护环宽度对雪崩击穿特性的影响;对器件的电场分布、击穿特性、光子探测效率、频率响应等特性进行了分析.仿真结果表明:所设计的单光子雪崩二极管器件结构直径为10 μm, 扩散n阱保护环宽度为1 μm时, 雪崩击穿电压为13.2 V, 3 dB带宽可达1.6 GHz;过偏压为1 V、2 V时最大探测效率分别高达52%和55%;在波长500~800 nm之间器件响应度较好, 波长为680 nm时单位响应度峰值高达0.45 A/W.
单光子雪崩二极管 标准0.35 μm CMOS工艺 保护环 深n阱 响应度 3 dB带宽 光子探测效率 Single photon avalanche diode Standard 0.35 μm CMOS process Guard ring Deep n-well structure Responsivity 3 dB bandwidth Photon detection efficiency 
光子学报
2016, 45(8): 0823001
作者单位
摘要
内蒙古民族大学物理与电子信息学院,内蒙古自治区 通辽 028043
采用Peaker变分法,研究了在有限深势阱下抛物量子线量子比特及其声子效应。量子线中这样的二能级体系可作为一个量子比特。当量子线中电子处于基态和第一激发态的叠加态时,电子的概率密度|ψ01(t,x,y,0)|2随着势阱宽度的增加而减小;电子的振荡周期T0随耦合强度α的增大而减小;振荡周期T0随受限长度l0的增加而增加。
抛物量子线 量子信息 量子比特 有限深势阱 finite well parabolic quantum wire quantum information qubit 
量子光学学报
2014, 20(3): 183
作者单位
摘要
内蒙古民族大学物理与电子信息学院, 内蒙古 通辽 028043
采用Peaker变分法,研究有限深势阱下极性晶体膜中量子比特及其声子效应。晶体膜中这样的二能级体系可作为一个量子比特。当膜中电子处于基态和第一激发态的叠加态时,电子的概率密度在空间作周期性震荡,得出振荡周期随耦合强度的增加而减小,随膜厚的增加而增大。
晶体膜 量子信息 量子比特 有限深势阱 polar slab quantum information qubit finite well 
量子光学学报
2012, 18(4): 339
作者单位
摘要
华侨大学 信息科学与工程学院, 福建 泉州 362021
采用球型量子点模型, 应用有效质量近似理论, 研究了 (nc-Si/SiO2)/ SiO2多层量子点结构的激子能级和波函数。结果表明, 有限深势阱模型的引入更符合实际更加准确。无论在无限深或有限深势阱下, 激子质心运动部分基态能量随量子点半径的减小而急剧增大。对于相同的量子点半径a, 无限深势阱下的质心部分能量总比有限深势阱高, 且二者的差距随a的减小而增大。
硅量子点 激子能级 有效质量近似 有限深势阱 无限深势阱 
光学学报
2009, 29(5): 1320
作者单位
摘要
华侨大学信息科学与工程学院,福建泉州,362021
在理论上计算了球形量子点激子基态能级和偶极跃迁振子强度,分析了量子点激子的三阶极化率.结果表明:在激子强受限的情况下,量子点半径越小三阶极化率越大;在激子弱受限的情况下,量子点半径的增大,三阶极化率越大.
量子点 无限深势阱 振子强度 三阶极化率 
量子光学学报
2008, 14(2): 202
作者单位
摘要
重庆大学物理系和凝聚态物理研究所,重庆,400044
在有效质量近似下,垂直方向采用无限深势阱限制势,在x-y平面上,量子点内采用抛物势近似,在量子点边界处采用与实际情况更接近的无限深势阱.在中心杂质电荷为ηe时,利用波函数近似,得到基态和低激发态的能级,与x-y平面均采用抛物势时得到的能级进行了比较.计算发现在量子点真实半径比较小时,电子的基态和低激发态受其影响很大,而相应的能级随量子点的半径逐步增大.在量子点半径大于5倍有效玻尔半径时,能级受其影响已经变得很弱.并且,随着磁场的变化,量子点半径对基态和第一激发态的能级差的影响也很大.最后我们计算了杂质电子的基态束缚能并讨论了声子对其影响.
量子点 磁场 无限深势阱 束缚能 电声耦合 
量子光学学报
2007, 13(1): 66

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