1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院研究生院, 北京 100039
按照高斯型渐变反射率镜(GRM)的参数要求,采用了中间层厚度渐变的方案对膜系和掩模板形状进行设计。根据薄膜的实际需求和具体的沉积设备,设计了掩模和掩模切换装置。在一次高真空环境下镀制了渐变反射率镜的所有膜系。采用直接测量的方法,测量了高斯型渐变反射率镜反射率的径向分布。测试结果表明,用这种技术制备的样品,与设计要求基本一致。分析得出,掩模板形状与精度对镀制结果有影响。随着设计尺寸减小,掩模板对膜料分子的散射作用增强,使样品中心反射率小于设计要求,边缘出现旁瓣。提出了减小基片与掩模板之间的距离和提高膜厚监控的精度的改善方案。
光学薄膜 渐变反射率镜 渐变厚度层 高斯曲线 掩模
1 四川大学电子信息学院, 四川 成都 610064
2 核工业西南物理研究院, 四川 成都 610041
利用光线追迹法以及分步傅里叶-贝塞耳变换法,考虑了光阑对光束的拦截和通光作用以及激光放大过程中的增益饱和效应,对环形腔调Q钕玻璃激光系统振荡器输出的光束经卡塞格林式放大器多程放大后的光场演化过程进行了数值模拟,并进行了实验验证。分析得出现有系统中输入输出镜的阶跃反射率分布是导致输出环形光束质量不好的主要原因,并重点对放大器的腔镜部分进行了优化设计,提出了反超高斯反射率分布的输入镜与超高斯反射率分布的输出镜相组合的腔镜对结构。数值模拟结果表明,该腔镜对的使用可大大改善输出环形光束的质量。
激光光学 光传输 多程放大 分步傅里叶-贝塞耳变换 环形光束 增益饱和 渐变反射率镜
