中国电子科技集团公司光电研究院, 天津 300000
光路内环境的洁净度、温度、相对湿度对大功率激光的传输、发射会产生重要影响, 采用充入非吸收气体的方法不适用于腔体壁厚较薄、含有窗口和旋转关节的结构, 针对光路结构特点, 设计了激光光路环境控制装置, 采用充气控制器采集压差、温差、相对湿度及洁净度参数, 自动控制电控球阀与排气电磁阀的启闭, 通过自动充排气充入高纯氮气、液氮, 排出原有气体, 并保持压差在合理范围内, 实现了对光路内环境的洁净度、相对湿度和温度的控制, 保证了高能激光光束的传输质量。
激光光路 环境控制 洁净度 laser path environment control cleanliness
