中国电子科技集团公司光电研究院, 天津 300000
光路内环境的洁净度、温度、相对湿度对大功率激光的传输、发射会产生重要影响, 采用充入非吸收气体的方法不适用于腔体壁厚较薄、含有窗口和旋转关节的结构, 针对光路结构特点, 设计了激光光路环境控制装置, 采用充气控制器采集压差、温差、相对湿度及洁净度参数, 自动控制电控球阀与排气电磁阀的启闭, 通过自动充排气充入高纯氮气、液氮, 排出原有气体, 并保持压差在合理范围内, 实现了对光路内环境的洁净度、相对湿度和温度的控制, 保证了高能激光光束的传输质量。
激光光路 环境控制 洁净度 laser path environment control cleanliness
1 深圳市洲明科技股份有限公司，广东 深圳 518103
2 四川科维实业有限责任公司，四川 成都 610225
本文简述成都新世纪环球中心超大面积室内LED显示屏在生产过程中关键工序的制定，从物料到成品生产环节中环境、工艺参数的设定及管控，到自动化化生产、人机结合、单元化生产以及自动测试流水线，介绍工艺标准和品质管控流程及方法在整个生产过程中的作用。通过介绍超大面积室内LED显示屏生产解决方案，为促进今后超大LED显示制造提供一个系统参考。
工艺流程 自动化设备 环境控制 单元作业 工艺标准 品质控制 process of automation equipment environmental control cell operation process standards quality control
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,长春 吉林 130033
2 中国科学院 研究生院,北京 100049
光刻投影物镜元件面形精度为纳米量级,因此要求检测精度为纳米到亚纳米量级。为了完成光刻投影物镜的光学元件面形检测任务,提出了利用菲佐型干涉仪进行检测的方法。通过理论分析和计算模拟,分别对相移误差、参考面误差、探测器非线性误差等系统误差以及光源稳定性、环境控制等影响干涉仪测量精度的主要因素进行分析,给出了测量误差大小与干涉仪结构参数之间的关系。计算结果表明,限制菲佐干涉仪检测精度的主要因素是参考面的精度和环境的影响。针对以上结果给出了提高干涉仪测量精度与减小测量误差的方法,对高精度菲佐干涉仪的研制具有一定的参考价值。
测量 误差分析 参考面精度 环境控制 菲佐干涉仪
北京航空航天大学 航空科学与工程学院,北京 100083
针对飞机环境控制系统中的升压式空气制冷循环,在EASY5平台上进行了稳态和动态仿真研究。首先以某型飞机环境控制系统的升压式空气制冷循环为例,详细描述了系统的结构和工作原理,以及系统中各主要组件如压缩机、涡轮、换热器、阀门及PI控制器的数学模型及其在EASY5气体动力学应用库中的使用方法。然后利用软件自带模块组件搭建飞机升压式空气制冷循环的仿真系统,对系统使用牛顿迭代法进行稳态求解,使用BCS-Gear变步长积分法进行动态分析。应用结果表明,该系统精度较高,具有一定的实用性和推广价值,为EASY5在飞机环境控制领域的应用及国内飞机环境控制系统仿真的研究提供参考。
飞机 环境控制 数学模型 仿真 airplanes environmental control mathematical model simulation
