为了减小多晶硅表面的反射率, 采用皮秒激光在多晶硅片表面制备阵列孔绒面, 分析了激光参数对制绒深度的作用机理, 优选出实验参数：激光功率为15 W, 脉冲频率为25 kHz, 扫描速度为0.9 m/s, 扫描次数为2。利用优选参数验证了制绒孔距对多晶硅片表面反射率的影响, 并通过PC1D软件模拟出不同制绒硅片的开路电压和短路电流。结果表明, 当孔距为30 μm时, 多晶硅表面形成的孔最为紧密, 形貌最好, 其孔密度为1.17×105 counts·cm-2, 表面反射率为6.95%, 多晶硅电池光-电转化效率提升至18.45%。
激光技术 激光制绒 阵列孔 时域有限差分(FDTD) 多晶硅 反射率 中国激光
2018, 45(10): 1002002
1 华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室, 广东 广州 510006
2 广东工业大学物理与光电工程学院, 广东 广州 510006
3 华南理工大学机械与汽车工程学院, 广东 广州 510641
4 深圳市大族激光科技股份有限公司, 广东 深圳 518000
为了提高非晶硅薄膜电池的转换效率和稳定性，采用纳秒紫外激光进行透明导电薄膜制绒，改变激光工艺参数，研究激光功率密度、重复频率、刻蚀速度和填充间距对透明导电薄膜电学、光学和晶体结构特性的影响；并根据不同制绒方式制备电池，比较其输出性能。实验结果证明：当激光功率密度P=0.85×105 W/cm2，刻蚀速度v=600 mm/s，重复频率f=50 kHz，填充间距Δd=0.012 mm时，获得薄膜方块电阻较小，陷光效果良好的绒面结构，有效地增强了电池吸收率，提高了电池的转换效率。
光电子学 激光制绒 陷光效应 方块电阻 总透射率 绒度
