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相同关键词【激光辅助合金】论文列表

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激光器与激光光学

连续波CO₂激光辅助AuGeNi-InP合金

叶玉堂 ^*吴云峰吴泽明杨先明 [ ... ]李莹波

作者单位

摘要

电子科技大学光电子技术系,成都,610054

利用激光辅助合金的方法,生成InP表面AuGeNi-InP合金,并形成良好的欧姆接触,上下表面面间电阻为5.8 Ω.研究了合金工艺参量(如合金时间、合金温度、镀膜厚度等)对形成欧姆接触性能的影响.

激光辅助合金欧姆接触半导体化合物

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光学学报

2002, 22(10): 1263

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