作者单位
摘要
1 中国科技大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029
2 合肥工业大学机械与汽车工程系, 合肥 230009
采用离子束溅射法,分别在经过不同前期清洗方法处理过的K9及石英玻璃光学基片上,选择不同的镀膜参量,镀制了多种厚度的Au膜。对镀制的Au膜在真空紫外波段较宽波长范围内的反射率进行了连续测量。测试结果表明:辅助离子源的使用方式、Au膜厚度对反射镜的反射率有重大影响。基片材料、镀前基片表面清洗工艺等对反射率也有一定影响。采用镀前离子轰击,可显著提高Au膜反射率及膜与基底的粘合力;获得最高反射率时的最佳膜厚与基片材料、镀膜工艺密切相关。对经过离子清洗的石英基片,膜厚在30 nm左右反射率最高;比较而言,石英基片可获得更高的反射率;辅助离子源的使用还显著影响获得最高反射率时对应的最佳膜厚值,且对K9基片的影响更显著。
薄膜光学 真空紫外反射镜 离子束溅射 真空紫外反射膜 Au膜 K9玻璃基片 石英玻璃基片 
光学学报
2007, 27(8): 1529
作者单位
摘要
1 上海理工大学,光学与电子信息工程学院,上海,200093
2 上海激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室,上海,200233
与传统的切割方式相比,可控断裂激光切割技术具有切割断面平滑、一次成型、对原材料性质和形态影响较小等特点.采用该技术,从断裂基理和实验验证两方面对激光切割液晶显示玻璃基片进行了一定的研究.研究结果表明,增大光斑尺寸,可减少断面上的热影响区,提高切割质量;但光斑尺寸过大,会降低激光功率密度,增大输出功率;冷却流量的增大及冷却点与激光光斑距离的减小,均可增大拉应力值,使玻璃表面的裂纹迅速扩展直至断裂,有利于激光切割.在不影响切割质量的前提下,预划一定深度和长度的初始裂纹是一个提高激光切割效率的方法.
激光技术 玻璃基片 可控断裂 初始裂纹 
应用激光
2006, 26(6): 401
作者单位
摘要
1 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
2 中国科学院,研究生院,北京,100039
提出了一种利用总积分散射(TIS)测量K9玻璃基片表面散射和体散射的实验方法.首先采用磁控溅射技术在基片表面沉积厚度为几十nm的金属Ag薄膜,然后将基片的表面和体区分开考虑,通过TIS测得了基片上下表面的均方根粗糙度, 进而求得基片的总散射和表面散射,最后计算得到了体散射.分别利用TIS和原子力显微镜(AFM)测量了3个样品上表面所镀Ag膜的均方根粗糙度,两种方法所得的均方根粗糙度的数值相差不明显,差值分别为0.08,0.11和0.09 nm, 表明TIS和AFM的测量结果相一致.利用该方法测得3块K9玻璃基片的总散射分别为6.06×10-4,5.84×10-4和6.48×10-4,表面散射介于1.25×10-4~1.56×10-4之间,由此计算得到的体散射分别为3.10×10-4,3.30×10-4和3.61×10-4.
表面散射 体散射 总积分散射 玻璃基片 表面粗糙度 
强激光与粒子束
2006, 18(4): 609

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