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相同关键词【玻璃衬底】论文列表

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激光晶化制备多晶硅薄膜技术

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袁志军 ^*楼祺洪周军董景星 [ ... ]王之江

作者单位

摘要

中国科学院上海光学精密研究所,上海 201800

激光晶化是一种制作晶硅薄膜器件(如薄膜晶体管、太阳能电池)很有效的技术。展望了低温多晶硅薄膜的应用前景，详细介绍了近几年激光晶化制备多晶硅薄膜技术的研究成果，并就激光对非晶硅作用的原理作了简单讨论。

薄膜低温多晶硅激光晶化玻璃衬底

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激光与光电子学进展

2007, 44(11): 52

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