因为在太赫兹（THz）波段下对物体缩比模型雷达散射截面（RCS）的测量可以减少RCS的测量周期与成本，所以太赫兹RCS计算与测量得到了更加广泛的关注。实际测量应用中，多采用类似高斯光束的太赫兹源，然而在计算中通常假定入射光为平面波。为研究这种假设给平板RCS计算结果带来的误差，计算了高斯光束入射条件下二维导体平板的RCS。仿真研究了入射光为2.52 THz激光对导体平板雷达散射截面的影响，同时与平面波入射结果进行了比较分析。计算结果显示，当导体平板宽度为20 mm时，选择波束宽度为40 mm的高斯光束作为入射光可以将误差的震荡控制在0.3 dB左右。

通过对缩比模型的太赫兹波段雷达散射截面(RCS)测量，可以获得微波波段全尺寸目标的RCS值，因此，RCS估算和测量是当前太赫兹重要的应用技术之一。RCS估算中，通常假定入射光为均匀平面波，但在实际测量应用中，常常采用发射类似高斯光束的太赫兹源。进行了横电波情况高斯光束入射时，无限长理想导体圆柱的太赫兹雷达散射截面估算。仿真研究了2.52 THz激光准直入射和相位变化对后向雷达散射截面的影响，给出了RCS与散射角的变化曲线；同时与均匀平面波入射结果进行了比较分析。仿真结果表明，在测量圆柱半径10 mm且入射光距圆柱轴心距离1 m处的后向RCS时，用光斑半径30 mm的高斯光束较好。