1 上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030
2 日本东北大学机械电子系,日本宫城县仙台市,980-7985
描述了一种新的亚波长光栅的微细加工技术,即电子束(EB)扫描曝光得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用快速原子束刻蚀设备获得了高深宽比的立体结构.用此加工技术获得了100 nm以下的刻蚀精度,并研制成功亚波长光栅.该亚微米线宽微细加工技术可用于布拉格光栅、半导体激光器、无反射表面等需要亚微米结构的器件中.
电子束扫描曝光 快速原子束刻蚀 亚波长光栅
电子束的扫描均匀度是工业辐照电子直线加速器的重要技术指标,该校正系统利用人工神经网络中的误差反向传播法可以对扫描电流波形进行校正,以克服扫描磁场引起的电子束形状变化、位置改变等造成的电子束分布的不均匀性,从而使扫描曲线的归一化均方偏差达到1.8%.
工业辐照 直线加速器 电子束扫描均匀度 人工神经网络 误差反向传播法 industrial irradiation LINAC scan uniformity artificial neural network error backward propagation method
1 天津大学物理系,天津 300072
2 天津大学分析中心,天津 300072
使用日产Hitachi X-650型扫描电镜实现了LiNbO3晶体的周期性电畴反转,电子束扫描是在晶体的负畴面实现的.晶体表面上的扫描轨迹是断续的,晶体表面的畴反转宽度小于晶体内部的畴反转宽度。对不同的扫描速率和扫描电流得到了不同的畴反转宽度和深度。对畴反转的机理也进行了探讨。
电子束扫描 畴反转光栅 LiNbO3晶体 扫描速率 线电荷密度
